Турбомолекулярный насос |
На данный момент времени турбомолекулярный насос это прибор, который относится к категории кинетических вакуумных насосов. Он был запатентован и разработан компанией Pfeiffer Vacuum еще в далеком 1957 году. Ко всему этому приложил руки В. Беккер, который изрядно подсуетился для того, чтобы данное чудо техники вышло на рынок. Конструкция термомолекулярных насосов аналогична той, которая создает вид и рабочее состояние обыкновенной турбины. Принцип работы термомлекулярного насоса таков, что ротор турбинного типа, который к тому же состоит из множества ступеней и лопастных дисков, вращается в корпусе. Между дисками ротора можно обнаружить лопастные диски статора, которые работают в обратно обращенном состоянии и имеют аналогичную геометрическую форму. Принцип действия турбомолекулярного насоса состоит в том, что эффект, при котором откачивается установка, которая состоит из статора и ротора, обуславливается передачей множества импульсов, которые исходят от лопастей, которые вращаются в быстром порядке, до откачиваемых молекул газа. В тот момент, когда молекулы ударяются о лопасти, они к ним адсорбируются, но через определенное количество времени снова их покидают. Во время данного происходящего процесса скорости лопастей суммируются со скоростью, которая является тепловой и которая исходит от молекул. Потери всей суммируемой скорости, которая исходит от лопастей в момент их столкновения с молекулами, компенсируются молекулярным потоком насоса, который преобладает в нем. Таким образом средний побег в свободном состоянии превышает один шаг лопасти. Если использовать кинетические насосы для откачивания газа, то создается противодействующее давление, которое способствует тому, чтобы в них возникал обратный поток. Сейчас вакуумное оборудование бывает разным. Оно представлено не только турбомолекулярными насосами, как можно было догадаться и предположить. Сейчас вакуумные насосы могут быть как безмасляные, так и пластинчато-роторные. Они же в свою очередь делятся еще на несколько типов. К примеру, безмасляные вакуумные насосы делятся на диафрагменные, винтовые, поршневые и насосы, которые имеют боковой канал. Если же говорить о пластинчато-роторных насосах, то они могут быть как одноступенчатые, так и двухступенчатые, которые выполняют ряд разных, но полезных функций. . |